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晶圓潔凈烘箱，不銹鋼百級烤箱定制安全裝置漏電斷路器、控制線路保險絲裝置、 超溫防止保護裝置、 電熱過電流保護裝置、馬達(dá)過電流保護、 反向保護裝置、內(nèi)襯防火材料、機臺異常蜂鳴器警示、門面安全開關(guān)。

高精度晶圓熱板，恒溫加熱臺用于固化光刻膠、晶圓烘烤、光刻工藝軟烘（前烘）、硬烘（堅膜）、掩膜版烘烤、柔性電路板烘烤、固化環(huán)氧塑脂等，可用于顯微鏡下使用以及其它需要高精度控溫的場合等。 適應(yīng)于半導(dǎo)體硅片，載玻片，晶片，基片，ITO導(dǎo)電玻璃等工藝，制版的表面涂覆后，薄膜烘干，固化，電路模塊的涂敷燒結(jié)和考核。熱板溫度穩(wěn)定度高，重復(fù)性好?？稍诠さV企業(yè)、科研、教育等單位作生產(chǎn)、科研、教學(xué)之用。

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精密烤膠機，高精度烘膠臺是我司針對研究的需要設(shè)計了一種溫度控制精度高,板面溫度均勻性好,成本低的電加熱板,用于光刻膠的烘干.

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電子真空儲存柜，半導(dǎo)體真空存儲箱主要用于儲存光學(xué)零件、半導(dǎo)體元器件、金屬材料、精密機械、電子零件、化工產(chǎn)品、化工原料、稀土材料、藍(lán)景膜、厭氧材料、易氧化材料及不便于冷藏的珍貴食品，肉食蔬菜果品及中西藥品以及易潮濕的衣物床上用品等。