有降溫功能真空烘箱,300度可降溫真空烤箱用于鍵合預(yù)處理,晶圓,芯片,電容,電池,封裝,光刻膠固化,PI固化等
有降溫功能真空烘箱,300度可降溫真空烤箱控制系統(tǒng):
具備參數(shù)設(shè)定、工藝程序編寫功能,工藝過(guò)程可保存并輸出;
工藝結(jié)束提示音;
觸摸屏
PLC控制器
運(yùn)行程式可保存不少于5個(gè)工藝菜單。
材質(zhì)
(1)內(nèi)部為304或316材質(zhì);
(2)外部材質(zhì):優(yōu)質(zhì)冷軋板噴塑;
(3)硅橡膠密封;
(4)內(nèi)部采用圓角結(jié)構(gòu)。
(5)冷卻水管材質(zhì):金屬水管和其他。
內(nèi)部尺寸:長(zhǎng)×寬×高=600mm×500mm×500mm
腔門:帶有觀察窗。
擱架:配有不銹鋼的托盤;
真空控制系統(tǒng)
(1)配備數(shù)字真空控制器,顯示腔內(nèi)相對(duì)壓強(qiáng);
(2)配備干泵、真空檢測(cè)和顯示系統(tǒng),真空壓力可控;
(3)真空泵:油泵或干泵
溫度控制系統(tǒng)
(1)可編程多段升溫程序;
(2)具備溫度校準(zhǔn)功能。
安全保護(hù)系統(tǒng)
(1)接地保護(hù)裝置;
(2)超溫報(bào)警及保護(hù)裝置;
(3)加熱器短路保護(hù)裝置;
(4)壓力低壓報(bào)警;
配有三色指示燈及蜂鳴器提示機(jī)臺(tái)運(yùn)行狀態(tài)。
有降溫功能真空烘箱,300度可降溫真空烤箱技術(shù)指標(biāo):
真空
(1)工藝真空度:≤133pa;
(3)通過(guò)真空電磁閥可實(shí)現(xiàn)真空度的控制。
溫度
(1)溫度范圍:室溫至300℃;
(3)溫度調(diào)節(jié)精度:≤±0.5℃;
(4)溫度穩(wěn)定度:≤1℃;
(5)溫度波動(dòng)度:≤1℃;
(6)降溫至室溫時(shí)間:<60min;
(7)升溫至200℃時(shí)間:<30min;
(8)可編程進(jìn)行多段升溫。
潔凈度
可達(dá)class100(使用環(huán)境100級(jí))