高溫無氧烘箱520L用于精密電子元件、銀膠固化、PI/BCB/BPO膠高溫固化烘烤、光刻膠固化、晶圓退火、電子陶瓷材料防氧化烘干、測試的特殊工藝要求.
高溫無氧烘箱520L技術參數(shù) :
工作室尺寸:W800mm×800mm×H800mm
材質:內箱采用優(yōu)質耐高溫SUS304不銹鋼,外箱采用優(yōu)質冷軋板噴塑,
溫度范圍:RT+50-450℃
溫度分辨率:0.1℃
溫度波動度: ≤±1℃
溫度均勻度:≤1.5%℃
潔凈度:使用環(huán)境同等級,可選百級(class100)無塵
升溫速度:0-10℃/min
降溫方式:自然降溫或輔助降溫(降溫速率約4℃/min)
氧含量:≤20ppm
彩色觸摸屏操作,可程式/定值運行
樣品架:2-4層不銹鋼沖孔樣品架
高溫無氧烘箱520L用途:
用于精密電子元件、銀膠固化、PI/BCB/BPO膠高溫固化烘烤、光刻膠固化、晶圓退火電子陶瓷材料防氧化烘干、測試的特殊工藝要求。
高溫真空無氧烘箱
高溫真空無氧烘箱技術參數(shù)
溫度范圍: RT ~300/450℃;可定制
溫度波動度:≤±1℃,
升溫速度:0-10℃/min;
降溫方式:自然降溫或風冷+水冷降溫
氮氣控制: 可調試流量計控制
氧含量檢測:20~1000ppm
工作尺寸: W350×H350×D350,
W450×H450×D450,
W600×H600×D600可定制
高溫真空無氧烘箱結構:
箱體材料:外箱采用優(yōu)質冷軋板烤漆;
內室材料:采用316L醫(yī)用級不銹鋼;
保溫材料:超細陶瓷纖維;
排 氣 口:有
真空泵:渦旋干泵