高溫低濕烘箱   超低濕高溫烤箱半導(dǎo)體行業(yè)防氧化烘烤?

• ?應(yīng)用場景?：晶圓封裝前需在150~180℃、濕度≤5%RH的環(huán)境中進(jìn)行去濕處理，防止金屬鍵合層氧化失效?

• ?設(shè)備特點(diǎn)?：采用氮?dú)庵脫Q與分子篩動(dòng)態(tài)除濕技術(shù)，潔凈度達(dá)百級標(biāo)準(zhǔn)，支持IPC/JEDEC標(biāo)準(zhǔn)的高溫烘烤模式?

  
  

超低濕高溫烤箱電子制造濕敏元件存儲?

• ?應(yīng)用場景?：LED燈珠、IC芯片等濕敏元器件需在40~90℃、濕度≤5%RH的烘箱中預(yù)烘烤，避免回流焊時(shí)出現(xiàn)“爆米花"效應(yīng)?

• ?設(shè)備特點(diǎn)?：搭載高分子材料除濕系統(tǒng)，濕度恢復(fù)速度≤15分鐘（開門后），并配備防靜電涂層?。

高溫低濕烘箱   超低濕高溫烤箱技術(shù)性能

• 溫度范圍： 50～200℃

• 濕度范圍： 5%RH 以下

• 均勻性： ±1.5℃%

• 工作尺寸：500×500×500,600×800×600mm,可定制

  除濕方式：氣體快速超低濕除濕法

• 箱體材料：外箱采用優(yōu)質(zhì)冷軋板烤漆

• 內(nèi)室材料：采用SUS304＃無磁性鏡面不銹鋼

• 保溫材料：超細(xì)陶瓷玻璃纖維

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半導(dǎo)體設(shè)備廠商上海雋思儀器，硅烷氣相沉積設(shè)備、精密熱板、HMDS預(yù)處理系統(tǒng)烘箱、智能型HMDS真空預(yù)處理系統(tǒng)烘箱、MSD超低濕烘箱、無塵烘箱、潔凈烘箱，氮?dú)夂嫦洹o氧烘箱、無塵無氧烘箱、真空烘箱、真空儲存柜、超低溫試驗(yàn)箱、超低濕試驗(yàn)箱等環(huán)境可靠性設(shè)備。