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HMDS預(yù)處理機(jī)H-2 智能HMDS真空烘箱為半導(dǎo)體應(yīng)用的光刻膠粘合促進(jìn)劑工藝設(shè)備，

HDMS烘箱 HDMS真空烘箱 HDMS預(yù)處理烘箱保護(hù)裝置：緊急停止，HMDS藥液泄漏報(bào)&警提示，HMDS低液位報(bào)&警，超溫保護(hù)，漏電保護(hù)，過熱保護(hù)等

光刻膠HMDS烘箱 HMDS疏水處理烘箱應(yīng)用多晶硅，石英，太陽能電池片、金屬、貴金屬、藍(lán)寶石、SiC(碳化硅)、磷化銦、GaN(氮化鎵)、ZnO（氧化鋅）、GaO（氧化鎵）、金剛石等第三代半導(dǎo)體材料。

HMDS烘箱專用真空泵，HMDS系統(tǒng)無油泵較小的噪音 - 一臺(tái)干泵卻擁有較好的真空度，較大的抽速 - 停機(jī)時(shí)間短，維護(hù)成本更低

光伏電池片HMDS處理系統(tǒng)，HMDS預(yù)處理烘箱就是涂膠前要進(jìn)行增粘處理。由于襯底表面吸水特性，使疏水的光刻膠無法與親水的晶圓表面結(jié)合良好。未經(jīng)過HMDS表面處理的晶圓在后道工藝中容易造成漂條、浮膠等，導(dǎo)致光刻圖形轉(zhuǎn)移的失敗，同時(shí)濕法腐蝕容易發(fā)生側(cè)向腐蝕。

HMDS烘箱真空泵，HMDS烘箱無油泵真空干泵具有(50dBA)和低振動(dòng)運(yùn)行的， 密封設(shè)計(jì)(真空區(qū)與電機(jī)和軸承全隔開) 可提供潔凈的泵內(nèi)氣體環(huán)路;從而消除了油或油脂帶來的污染風(fēng)險(xiǎn)。

HMDS專用烘箱，HMDS真空涂膠系統(tǒng)適用行業(yè)：MEMS、濾波、放大、功率等器件，晶圓、玻璃、貴金屬，SiC(碳化硅)、GaN(氮化鎵)、ZnO（氧化鋅）、GaO（氧化鎵）、金剛石等第三代半導(dǎo)體材料。